真空系統(tǒng)
三工位陰極轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 該設(shè)備為國內(nèi)首臺(tái)套設(shè)備，是光電倍增管生產(chǎn)制造核心工藝裝備，可同時(shí)完成3只20″倍增管陰極激活與轉(zhuǎn)移、MCP清刷和銦封等關(guān)鍵工序，打破日本企業(yè)長期國際壟斷地位。
- 該設(shè)備是集高真空、高溫及多種運(yùn)動(dòng)方式于一體的大型復(fù)雜真空系統(tǒng)，其生產(chǎn)制造的光電倍增管已用于江門中微子實(shí)驗(yàn)室和高海拔宇宙線觀測站等微觀粒子探測、高能物理研究領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
微觀粒子探測、高能物理
- 技術(shù)指標(biāo)
- 尺寸
- 產(chǎn)品特性
- 配件
- 下載
- 個(gè)封頂升力
- 0-100N
- 定位精度
- 0.02°
- 坡殼旋轉(zhuǎn)速度
- 0-3rpm
- 電子槍組件平移運(yùn)動(dòng)速度
- 0-500mm/min ,重復(fù)定位精度±1.5mm
- MCP組件垂直運(yùn)動(dòng)速度
- 0-500mm/min ,重復(fù)定位精度：±1.5mm
- 陰極組件垂直運(yùn)動(dòng)速度
- 0-500mm/min ,重復(fù)定位精度：±1.5mm
- 溫度均勻性
- ±2.5℃
- 除氣加熱溫度
- 400℃
- 工作真空
- 5×10E-5Pa
- 極限真空
- 5×10E-6Pa
| 文件名 | 類型 | 語言 | 日期 | 文件大小 |