真空配套
APC插板閥
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 智能調(diào)節(jié)，控制簡便快捷。
- 質(zhì)量穩(wěn)定，抗干擾能力強(qiáng)。
- 配置豐富，人機(jī)接口友好。
- 一體設(shè)計(jì)，集成化程度高。
- 安全可靠，低壓直流供電。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面工程、能源科技、平板顯示、IC制造、工業(yè)過程等領(lǐng)域
- 技術(shù)指標(biāo)
- 尺寸
- 產(chǎn)品特性
- 配件
- 下載
- 接口法蘭
- CF、ISO-F
- 適用真空度范圍
- 1E5-1E6
- 閥體漏率（Pa·m3/s）
- ?≤1.3E-10
- 開啟壓差
- <3000Pa
- 耐烘烤溫度
- ≤150℃（控制器Controller≤50℃）
- 位置控制精度
- ±0.1%FS
- 薄膜規(guī)信號(hào)
- 0-10V DV
- 控制器電壓
- DC 24V
| 文件名 | 類型 | 語言 | 日期 | 文件大小 |