“分析儀器”包含所有需要在真空環(huán)境下進(jìn)行分析的所有應(yīng)用，如電子顯微鏡利用真空環(huán)境下不同粒子的散射成像對物質(zhì)表面微區(qū)形貌進(jìn)行分析，氣相色譜質(zhì)譜儀利用真空環(huán)境不同核質(zhì)比粒子質(zhì)譜圖對物質(zhì)的種類進(jìn)行分析，氦質(zhì)譜檢漏儀利用氦氣在真空環(huán)境下離子信號對漏率大小進(jìn)行測定，在表面科學(xué)、材料分析、環(huán)境分析中也有著廣泛的應(yīng)用。