光伏，即光伏發(fā)電系統(tǒng)，是利用半導(dǎo)體材料的光伏效應(yīng)，將太陽(yáng)輻射能轉(zhuǎn)化為電能的一種發(fā)電系統(tǒng)。光伏發(fā)電系統(tǒng)的能量來(lái)源于取之不盡、用之不竭的太陽(yáng)能，是一種清潔、安全和可再生的能源。薄膜太陽(yáng)能電池是一種新型的光伏器件，可以實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)化。在薄膜太陽(yáng)電池的制備過(guò)程中使用各式各樣的沉積技術(shù)，在基材上鍍砷化鎵（GaAs）、銅銦硒（CIS）、碲化鎘（CdTe）等材料的薄膜可以大大提高光生電流密度，進(jìn)而提高轉(zhuǎn)換效率。太陽(yáng)能電池的沉積工藝如物理氣相沉積 (PVD) 或等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)均需要在真空環(huán)境下進(jìn)行。