8月16-18日，第十屆中國電子信息博覽會暨2022深圳國際半導體技術裝備與材料展覽會（CITE 2022）在深圳會展中心（福田）隆重舉辦。作為中國尖端科學儀器和真空技術的引領者，中科科儀受邀出席，著重展示半導體行業(yè)系列檢測方案。

本屆展會由中華人民共和國工業(yè)和信息化部、深圳市人民政府、中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團有限公司指導，中國電子器材有限公司、賽艾特會展（深圳）有限公司主辦，以“創(chuàng)芯驅動、高質量發(fā)展”為主題，匯聚了半導體領域的專家學者、企業(yè)精英，針對中國半導體領域國產(chǎn)化的進展、最新趨勢、重點問題和熱點話題進行廣泛探討。

半導體檢測是保證電子產(chǎn)品良率和成本管理的重要環(huán)節(jié)，隨著半導體制造工藝要求的提升，檢測環(huán)節(jié)在半導體制造過程中的地位不斷提升。本次展會中科科儀重點展示了半導體行業(yè)系列檢測方案：SEM（掃描電鏡）+EDS（能譜儀）+EBIC（電子束感應電流）+HLD（氦質譜檢漏儀）+HF（氟油平臺）。此方案對半導體器件的失效分析、材料檢測、線寬測量、污染物分析、可靠性檢測具有重要意義，受到了與會嘉賓和觀眾的廣泛關注和一致好評。

集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性產(chǎn)業(yè)。近年來，中科科儀持續(xù)聚焦半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，不斷加大研發(fā)投入，堅持科創(chuàng)引領，推出場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、半導體磁懸浮分子泵等半導體行業(yè)關鍵裝備和核心零部件，達到國際先進水平，助力中國半導體產(chǎn)業(yè)持續(xù)健康高質量發(fā)展。

未來，中科科儀將依托尖端科學儀器和真空技術領域深厚的歷史積淀，積極搶抓粵港澳大灣區(qū)發(fā)展機遇，不斷突破關鍵核心技術，為我國科技自立自強做出應有的貢獻！

展會還在繼續(xù)，歡迎您蒞臨中科科儀展位（1號館-1D526）參觀交流，與我們共同探討半導體技術裝備與材料發(fā)展新風向……