金風(fēng)送爽，丹桂飄香。9月22日至24日，第六屆粵港澳真空科技創(chuàng)新發(fā)展論壇暨廣東省真空學(xué)會學(xué)術(shù)年會在廣州科學(xué)城成功舉辦，同期舉辦“先進(jìn)微納制造技術(shù)與前沿應(yīng)用高峰論壇”，作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)的引領(lǐng)者，中科科儀受邀出席，分享半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵技術(shù)。

本屆展會由廣東省真空學(xué)會、廣東省真空產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟主辦，廣州今泰科技股份有限公司承辦。會議特邀十余位國內(nèi)外著名專家和行業(yè)龍頭企業(yè)做大會報告，交流真空技術(shù)在電子信息、半導(dǎo)體器件、新能源開發(fā)、工模具涂層、微納制造領(lǐng)域的最新應(yīng)用進(jìn)展。中科科儀真空技術(shù)研發(fā)中心時劍文博士在真空裝備與應(yīng)用工藝會場做了題為《半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵技術(shù)》的線上報告，系統(tǒng)介紹磁懸浮分子泵技術(shù)及磁懸浮分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用，獲得與會專家和學(xué)者的一致好評。

真空產(chǎn)業(yè)作為知識密集、技術(shù)密集的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，是支撐戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，也是未來技術(shù)競爭的制高點，市場發(fā)展?jié)摿薮?。作為國家?zhàn)略科技力量投資興辦企業(yè)，中科科儀面向國家戰(zhàn)略需求，聚焦主責(zé)主業(yè)發(fā)展，聚力核心技術(shù)攻關(guān)，培育壯大新興產(chǎn)業(yè)，搶抓市場新機遇。集成電路零部件是決定我國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域。磁懸浮分子泵可獲得清潔無油的超高真空環(huán)境，是集成電路前道工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積裝備的關(guān)鍵核心零部件。中科科儀自研制中國首臺磁懸浮分子泵以來，加速推進(jìn)磁懸浮分子泵規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、鍍膜、平板顯示、科學(xué)研究、新能源、新材料等領(lǐng)域。其中，中科科儀系列半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵具有卓越可靠的耐腐蝕能力、安全穩(wěn)定的防沉積能力、配置靈活的分體式設(shè)計以及緊湊便利的高集成設(shè)計特點，性能指標(biāo)對標(biāo)國際一流產(chǎn)品，有效成為集成電路裝備制造的國產(chǎn)化解決方案。

未來，中科科儀將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新科學(xué)儀器，發(fā)展一流企業(yè)”使命，強化國家戰(zhàn)略科技力量使命擔(dān)當(dāng)，積極搶抓粵港澳發(fā)展機遇，在中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)域不斷發(fā)揮引領(lǐng)者作用，攻堅克難，加大關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)投入，提升市場競爭力，為集成電路產(chǎn)業(yè)新生態(tài)的建設(shè)貢獻(xiàn)力量！