中科科儀出席IC WORLD大會,助力集成電路產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化發(fā)展
12月28日至30日,2022年北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)隆重舉行。IC WORLD大會是中國北方地區(qū)具有較大影響力的品牌集成電路大會,本屆大會以“蓄勢起航 煥然一芯”為主題,全面整合行業(yè)資源,提升行業(yè)參與力,為業(yè)界帶來諸多新看點(diǎn)。作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)的引領(lǐng)者,中科科儀受邀出席。
本屆大會由中華人民共和國工業(yè)和信息化部、中華人民共和國科技部、北京市人民政府指導(dǎo),北京市經(jīng)濟(jì)和信息化局、北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會主辦。大會召開了精彩紛呈的學(xué)術(shù)會議,特邀眾多政府領(lǐng)導(dǎo)、業(yè)內(nèi)專家及知名投資機(jī)構(gòu)領(lǐng)導(dǎo)蒞臨現(xiàn)場,通過思想碰撞、深度交流、展覽展示,探討集成電路產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵核心技術(shù)的新發(fā)展和新方向。中科科儀真空技術(shù)研發(fā)中心時(shí)劍文博士在集成電路零部件創(chuàng)新發(fā)展論壇發(fā)表主題為《磁懸浮分子泵技術(shù)及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用》的線上演講,全面講解了磁懸浮分子泵技術(shù)和磁懸浮分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用,獲得與會專家和學(xué)者的一致認(rèn)可和好評。
磁懸浮分子泵可獲得清潔無油的超高真空環(huán)境,是集成電路前道工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積裝備的關(guān)鍵核心零部件。中科科儀磁懸浮分子泵突破磁懸浮軸承及控制、無位置傳感器高速電機(jī)及控制、整體轉(zhuǎn)子精密加工、高性能渦輪動靜葉片設(shè)計(jì)、高強(qiáng)度鋁合金渦輪材料、精度位移傳感器、稀薄流態(tài)的真空性能仿真、復(fù)雜轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)分析等關(guān)鍵技術(shù),滿足集成電路制造工藝的嚴(yán)苛要求,性能指標(biāo)對標(biāo)國際一流產(chǎn)品,供應(yīng)鏈實(shí)現(xiàn)完全自主可控。
當(dāng)前,我國集成電路產(chǎn)業(yè)正處在前所未有的大變局中,一方面數(shù)字經(jīng)濟(jì)、新基建正成為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要驅(qū)動力,另一方面,復(fù)雜的外部產(chǎn)業(yè)環(huán)境變化也為我國集成電路產(chǎn)業(yè)帶來全鏈突破、加速發(fā)展的歷史性機(jī)遇。中科科儀作為集成電路產(chǎn)業(yè)核心零部件廠商,不斷搶抓機(jī)遇,自研制中國首臺磁懸浮分子泵以來,加速推進(jìn)磁懸浮分子泵規(guī)模產(chǎn)業(yè)化,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、離子注入、高端光學(xué)鍍膜、科學(xué)研究、異質(zhì)結(jié)光伏等領(lǐng)域。其中,中科科儀系列半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵憑借卓越可靠的耐腐蝕能力、安全穩(wěn)定的防沉積能力、配置靈活的分體式設(shè)計(jì)以及緊湊便利的高集成設(shè)計(jì)特點(diǎn),獲得廣大用戶的厚愛。
未來,中科科儀將繼續(xù)加強(qiáng)集成電路制造工藝的適用性研究,不斷提升磁懸浮分子泵的性能指標(biāo),實(shí)現(xiàn)集成電路制造領(lǐng)域國產(chǎn)化替代,助力解決集成電路產(chǎn)業(yè)核心零部件“卡脖子”問題,為強(qiáng)化國家戰(zhàn)略科技力量、實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)做出新的貢獻(xiàn)!
摘要:真空“硬科技”賦能集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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