8月9日-11日，由江蘇省工業(yè)和信息化廳、無錫市人民政府指導(dǎo)，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)、無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)主辦的第十一屆半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會(huì)在無錫太湖國際博覽中心盛大開幕。中科科儀作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)軍者受邀參會(huì)，與半導(dǎo)體裝備制造龍頭企業(yè)及產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)質(zhì)企業(yè)齊聚一堂，共同探討半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件的未來發(fā)展趨勢。

本次展會(huì)是我國半導(dǎo)體行業(yè)權(quán)威設(shè)備與核心部件展示會(huì)、研討會(huì)，是全產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈深入交流與合作的平臺(tái)。中科科儀攜半導(dǎo)體裝備制造核心零部件產(chǎn)品和半導(dǎo)體檢測設(shè)備及解決方案精彩亮相，吸引了眾多專業(yè)人士、行業(yè)同仁前來參觀交流。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是支撐現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，我國正在加快推進(jìn)先進(jìn)制程設(shè)備的國產(chǎn)化替代進(jìn)程。中科科儀聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域“卡脖子”問題，研制了集成電路制造裝備關(guān)鍵核心零部件——磁懸浮分子泵，目前已推出面向半導(dǎo)體和工業(yè)兩個(gè)應(yīng)用方向覆蓋標(biāo)準(zhǔn)系列、高溫系列、分體系列等多個(gè)產(chǎn)品線共計(jì)二十余款產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積、離子注入、分子束外延、異質(zhì)結(jié)光伏、真空鍍膜、平板顯示、科研與工業(yè)等領(lǐng)域。

掃描電子顯微鏡作為半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域不可或缺的高端科學(xué)儀器，被科技日報(bào)列為國家35項(xiàng)關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)之一。中科科儀在電子光學(xué)領(lǐng)域持續(xù)耕耘50余年，近年來推出我國第一臺(tái)場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，分辨率優(yōu)于1nm，達(dá)到國際先進(jìn)水平，在半導(dǎo)體晶圓檢測、線寬測量、器件失效分析等方面有著廣泛應(yīng)用。

此外，中科科儀還持續(xù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供定制化產(chǎn)品，包括專用磁懸浮分子泵、智能調(diào)壓插板閥、蝶閥、高靈敏氦質(zhì)譜檢漏儀等系列產(chǎn)品，為眾多集成電路裝備制造頭部企業(yè)提供國產(chǎn)化解決方案。

未來，中科科儀將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新科學(xué)儀器，發(fā)展一流企業(yè)”使命，依托尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)領(lǐng)域深厚的技術(shù)積淀，不斷發(fā)揮領(lǐng)軍者作用，強(qiáng)化核心技術(shù)攻關(guān)，助力高端裝備制造領(lǐng)域國產(chǎn)化替代，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻(xiàn)力量！