11月15日-19日，中國規(guī)模最大、最具影響力的科技類展會——第二十五屆中國國際高新技術(shù)成果交易會（以下簡稱“高交會”）在深圳隆重舉辦，中科科儀攜多款高端科學(xué)儀器裝備和真空產(chǎn)品重裝亮相國科控股高端裝備板塊。展會期間，中科科儀在新產(chǎn)品新技術(shù)發(fā)布活動中帶來了兩場精彩報告，展示了中科科儀在電子光學(xué)和真空領(lǐng)域的多項前沿技術(shù)及創(chuàng)新成果。

16日上午，中科科儀總經(jīng)理助理兼科儀光電總經(jīng)理孟祥良在高交會新產(chǎn)品新技術(shù)精品發(fā)布活動中作了《場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡》的報告，帶來了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高分辨場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100并進行詳細介紹。

掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器，是中國科技發(fā)展中不可或缺的高端科學(xué)儀器。中科科儀具有50多年的電鏡研制歷史，具備深厚的電子光學(xué)技術(shù)基礎(chǔ)，是國內(nèi)率先實現(xiàn)掃描電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，在產(chǎn)品的研發(fā)和制造方面擁有豐富的經(jīng)驗?；趪抑卮罂茖W(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項，中科科儀研發(fā)推出了我國首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高分辨場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100，最佳分辨率優(yōu)于0.9nm，具有自主設(shè)計制造的低像差物鏡、突破電子束鏡筒加速技術(shù)、自主研制的電子光學(xué)智能化控制系統(tǒng)等技術(shù)優(yōu)勢。目前該設(shè)備已完成科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化落地，并形成批量銷售，深受各行業(yè)用戶好評，為我國納米科技、材料分析、分子生物學(xué)研究與半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域提供技術(shù)支撐，取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益。

18日下午，中科科儀真空技術(shù)研發(fā)中心主任宋海燕在高交會新產(chǎn)品新技術(shù)發(fā)布活動中作了《中科科儀真空獲得及檢測系列產(chǎn)品發(fā)布會》的報告，帶來了系列磁懸浮分子泵、系列儀器分子泵和系列氦質(zhì)譜檢漏儀等真空獲得及檢測產(chǎn)品，并分享產(chǎn)品的技術(shù)特點和行業(yè)應(yīng)用。

近年來，聚焦刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導(dǎo)體前道工藝的更高要求，中科科儀攻克多項核心技術(shù)，研制推出了具備卓越可靠的耐腐蝕能力、安全穩(wěn)定的防沉積能力、緊湊便利的高集成設(shè)計、配置靈活的分體式設(shè)計等性能特點的半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵，提升我國集成電路制造裝備核心零部件國產(chǎn)化水平。面向分析儀器行業(yè)，中科科儀開發(fā)了緊湊型高性能儀器專用分子泵，核心技術(shù)和加工工藝完全自主可控，性能出色、品質(zhì)卓越，滿足分析儀器嚴苛要求，逐步解決國產(chǎn)科學(xué)儀器"空心化"問題。在真空檢漏技術(shù)方面，中科科儀攻克E-13高靈敏檢漏技術(shù)，開發(fā)系列檢漏儀新品，具備檢測精度高、檢漏壓強大、啟動時間短、響應(yīng)速度快等性能特點，可應(yīng)用于新能源、航空航天、汽車工業(yè)、電力電氣、壓力容器等領(lǐng)域。

除此之外，中科科儀KYKY-EM8100型場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡和系列磁懸浮分子泵榮獲第二十五屆高交會“優(yōu)秀產(chǎn)品獎”，對于中科科儀來說這既是榮譽，又是對這兩款獲獎產(chǎn)品技術(shù)前沿性、創(chuàng)新性及領(lǐng)先性的認可。

未來，中科科儀將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新科學(xué)儀器，發(fā)展一流企業(yè)”初心使命，發(fā)揮中國高端科學(xué)儀器裝備和真空技術(shù)領(lǐng)軍者作用，加強核心技術(shù)攻關(guān)與聯(lián)合攻關(guān)，加快推進電子光學(xué)儀器和真空獲得設(shè)備的研制進程，提升國產(chǎn)化替代水平，助力解決高端科學(xué)儀器裝備和核心零部件的“卡脖子”問題，為我國新時代科技強國建設(shè)貢獻力量！