中科科儀精彩亮相國際真空展 共話真空技術(shù)發(fā)展與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新實(shí)踐
9月24日-26日,2025第十八屆國際真空展覽會(huì)在上海世博展覽館舉辦,中科科儀重裝出席此行業(yè)盛會(huì),展出真空技術(shù)全系列優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,同時(shí)承辦“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前沿論壇”,引發(fā)眾多國內(nèi)外領(lǐng)導(dǎo)專家、行業(yè)同仁的廣泛關(guān)注與高度贊賞。展會(huì)開幕式現(xiàn)場,中國真空學(xué)會(huì)副秘書長、中科科儀副總經(jīng)理(主持工作)李賞出席并作為企業(yè)代表發(fā)言。
展會(huì)期間,中國真空學(xué)會(huì)對我國真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域取得創(chuàng)造性成果和做出突出業(yè)績的青年科技工作者進(jìn)行表彰,李賞被授予“2025年中國真空學(xué)會(huì)真空科技青年創(chuàng)新人物”榮譽(yù)稱號。李賞主要從事超高真空獲得技術(shù)研究、產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工作,主導(dǎo)完成系列儀器行業(yè)專用分子泵、磁懸浮分子泵的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,產(chǎn)品批量應(yīng)用于質(zhì)譜分析儀及集成電路前道工藝制造等領(lǐng)域,助力我國高端裝備核心零部件自主可控和真空行業(yè)發(fā)展。
展會(huì)同期舉辦“真空科技、裝備與前沿應(yīng)用峰會(huì)”,設(shè)置“大科學(xué)裝置、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前沿、高端真空裝備”三大高端論壇,中科科儀承辦“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前沿論壇”。論壇期間,北京真空學(xué)會(huì)秘書長、中科科儀真空技術(shù)研發(fā)中心主任宋海燕進(jìn)行《分子泵關(guān)鍵技術(shù)演進(jìn)及在半導(dǎo)體裝備中的應(yīng)用》的主題報(bào)告。與此同時(shí),本次論壇特邀北京華丞電子有限公司總裁牟昌華、安徽萬瑞冷電科技有限公司副總經(jīng)理武義鋒、中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司副總經(jīng)理孔祥玲、北京爍科中科信電子裝備有限公司研發(fā)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人喻曉、北京芯微諾達(dá)科技有限公司副總經(jīng)理尹彬、上海市真空學(xué)會(huì)秘書長莫曉亮分別進(jìn)行主題為《半導(dǎo)體行業(yè)精密測控零部件技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展》《低溫真空產(chǎn)品在半導(dǎo)體裝備上的國產(chǎn)化應(yīng)用進(jìn)展》《真空干泵國產(chǎn)化進(jìn)展及其在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用》《國產(chǎn)離子注入裝備發(fā)展現(xiàn)況》《真空技術(shù)在微納加工中的應(yīng)用》《真空薄膜工藝在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用和發(fā)展》的專題報(bào)告。各報(bào)告嘉賓分享真空技術(shù)干貨與半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)新應(yīng)用,圍繞第三代半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝等前沿領(lǐng)域開展技術(shù)預(yù)判,共同探討半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿技術(shù)與創(chuàng)新實(shí)踐,現(xiàn)場座無虛席,氣氛熱烈。
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國際真空展是全球真空技術(shù)領(lǐng)域最具歷史積淀與影響力的行業(yè)盛會(huì),此次展會(huì)不僅為全球真空產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級注入了強(qiáng)勁動(dòng)力,還強(qiáng)化了真空技術(shù)對國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的支撐力量。中科科儀作為中國尖端科學(xué)儀器及真空技術(shù)的引領(lǐng)者,將繼續(xù)錘煉硬科技實(shí)力,奮力搶占科技制高點(diǎn),賦能國產(chǎn)化替代進(jìn)程,以提升中國真空技術(shù)在國際上的地位及影響力,助力擘畫真空產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展新藍(lán)圖。
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