中科科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊獲評中國科學院第六屆“科苑名匠”稱號
近年來,中國科學院工會堅持以習近平新時代中國特色社會主義思想為指導,積極響應中華全國總工會“大國工匠”品牌建設,在全院范圍開展“科苑名匠”選樹工作,取得良好成效,廣大職工中涌現(xiàn)出一大批技術(shù)精湛、業(yè)績突出的高技能人才,為科技創(chuàng)新事業(yè)發(fā)展作出了重要貢獻。
為表彰先進、樹立榜樣,中國科學院工會授予6名個人和13個團隊中國科學院第六屆“科苑名匠”稱號,中科科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊獲此殊榮。
中科科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊,深耕真空技術(shù)領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新突破,聚力攻關(guān)重大裝備核心零部件高效產(chǎn)業(yè)化,形成的分子泵系列產(chǎn)品在集成電路、光伏新能源、航空航天、科學分析儀器等行業(yè)廣泛應用,為推動國家產(chǎn)業(yè)升級、提升國家科技實力水平做出重要貢獻。團隊逐步建立流程制度標準化、設備配套高效化、制造團隊專業(yè)化的生產(chǎn)體系,致力于研制滿足國家重大戰(zhàn)略需求、具有市場競爭力的關(guān)鍵產(chǎn)品,解決國家關(guān)鍵核心技術(shù)“卡脖子”問題。
該團隊實現(xiàn)了磁懸浮分子泵在光伏、鋰電等新能源行業(yè)大批量應用,推進半導體專用磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化落地,快速滿足第三代半導體碳化硅行業(yè)設備對專用分子泵的需求,并實現(xiàn)在刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體前道工藝關(guān)鍵裝備上的應用,為半導體產(chǎn)業(yè)設備核心部件國產(chǎn)化發(fā)展做出貢獻。
歷經(jīng)六十余年的傳承與積累,中科科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊深刻領(lǐng)悟老一輩科學家胸懷祖國、無私奉獻的精神,堅持精益求精、追求卓越的工匠精神,專注科技成果轉(zhuǎn)化,守初心,擔使命,為高端裝備精密智造注入新動能。
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