真空獲得
CXF-320/3002
產(chǎn)品特點
- 節(jié)能：無摩擦，避免摩擦熱損耗、較其它類型產(chǎn)品能耗降低30％
- 高效：更長的連續(xù)工作時間、高氣流量和高抽速
- 靈活：緊湊型結(jié)構(gòu)，滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝，適合各種設(shè)計需求、豐富擴展功能，滿足客戶定制化需求
應(yīng)用領(lǐng)域
科學(xué)研究加速器光伏Low-E玻璃鍍膜ITO鍍膜光學(xué)鍍膜裝飾鍍膜平板顯示真空爐電真空新能源新材料真空干燥低溫制冷薄膜沉積刻蝕離子注入光刻電子器件
- 技術(shù)指標(biāo)
- 尺寸
- 產(chǎn)品特性
- 配件
- 下載
- 進氣口法蘭
- DN320 ISO F（標(biāo)配）?
- 排氣口法蘭
- ?KF40
- 抽速速率（L/s）
- N2:3260? ?Ar:2900? ? He:2550? ? H2:1730
- 壓縮比
- N2:＞1E8? ? Ar:＞1E8? ? He:＞1E4? ? H2:＞1E3
- 極限壓強（Pa）
- 1E-7（橡膠密封）
- 最大瞬時入口流量（sccm）
- 2400
- 保護氣入口法蘭（選配）
- ?KF10
- 推薦保護氣體流量
- 50
- 最大允許磁場強度
- 徑向：3? 軸向：15
- 額定轉(zhuǎn)速（rpm）
- 24000
- 啟動時間（min）
- ≤10
- 停機時間（min）
- ≤14
- 冷卻方式
- ? 水冷
- 冷卻水流量（L/min）
- 3
- 推薦冷卻水溫度（℃）
- 20±5
- 電源電壓（V AC）
- ? 220±10％，50Hz? ? ? ? ? 110±10％，60Hz
- 適配電源型號
- ? ?CXFD-1601
- 建議前級泵
- ?≥30
- 重量（kg）
- ?76
| 文件名 | 類型 | 語言 | 日期 | 文件大小 |