分子泵發(fā)展歷程
2021
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推出CXF-250/2302、CXF-320/3002型磁懸浮分子泵，并實現(xiàn)量產(chǎn)。研制成功CXF-200/1401CV、CXF-250/2301CV、CXF-200/1401CS型磁懸浮分子泵。
2019
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研制成功CXF-320/3000型磁懸浮分子泵。
2018
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突破第二代磁懸浮軸承及控制技術(shù)，推出一體磁懸浮分子泵CXF-200/1401、CXF-250/2301磁懸浮分子泵，并實現(xiàn)量產(chǎn)。
2016
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研制生產(chǎn)的全計算機控制掃描電鏡KYKY-3800型掃描電子顯微鏡，在第八屆北京國際分析測試學術(shù)報告會及展覽會（BCEIA）上，獲“優(yōu)秀國產(chǎn)分析測試儀器金獎”。
2015
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國內(nèi)首家推出FF-40/25、FF-63/80、FF-100/150、FF-100/300系列一體化分子泵，并進入分析儀器行業(yè)。
2013
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CXF-200/1400、CXF-250/2300型磁懸浮分子泵實現(xiàn)量產(chǎn)，在第12屆國際真空展上正式推出，并進入半導體行業(yè)。
2012
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研制成功FF-160/700F、FF-200/1300F、FF-200/1300N型復合分子泵；研制成功FF-200/1200G型抗沖擊分子泵。
2011
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研制成功國家“02重大專項”成果CXF-250/2300型磁懸浮分子泵工程樣機,并首次亮相十一五重大科技成果展。
2010
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研制成功FF-250/1600B型復合分子泵；研制成功FF-250/2000型復合分子泵。
2008
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研制成功FF-160/500G型抗沖擊專用分子泵；研制成功FF-100/110型任意角度安裝分子泵；研制成功FD-II型自動識別控制器；承擔國家“02重大專項”——磁懸浮分子泵的研發(fā)任務。
2006
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研制成功FF-200/1300任意角度安裝分子泵，并通過省部級鑒定。
研制成功FF-250/1600型復合分子泵；研制成功FD-II控制器。
2005
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研制成功FF-160/700任意角度安裝分子泵，并通過國家省部級鑒定。
2002
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研制成功FF-200/1200復合分子泵。
2000
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研制成功FF-160/620復合分子泵進入市場。
1999
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研制成功F-400/3500渦輪分子泵，并通過省部級鑒定。
1993
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研制成功F-250/1500渦輪分子泵，研制成功F-100/150檢漏儀用渦輪分子泵。
1986
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研制成功FF-160/500復合型分子泵。
1983
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研制成功F-100/110渦輪分子泵通過中科院鑒定，首批應用于正負電子對撞機。
1977
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研制成功國內(nèi)第一臺立式F-160/450渦輪分子泵，通過科學院鑒定。