分子泵過流保護分為加速中過流保護與恒速運行中過流保護兩種情況，應分別診斷：
（1）加速中過流保護
?可能情況：系統(tǒng)漏氣、真空度較差
?檢測方法及建議：
?1）觀察分子泵前級真空度是否優(yōu)于10Pa；
?2）用檢漏儀對系統(tǒng)進行整機檢漏，確保系統(tǒng)無漏；
?3）確保系統(tǒng)漏率在允許范圍內且前級優(yōu)于10Pa后重啟分子泵。
（2）恒速運行中過流保護
?可能情況：分子泵運行中負載突變
?檢測方式及建議：
?1）觀察系統(tǒng)真空度變化過程；
?2）若出現(xiàn)較明顯變化（如10^-4Pa降至10^-1Pa），則會出現(xiàn)過流保護情況。

分子泵在運轉過程中需要進行冷卻，分風冷和水冷兩種。應分別診斷：
（1）水冷分子泵
???????? 可能情況1：水流量、水壓、水溫、環(huán)境溫度異常
???????? 檢測方法及建議1：
???????? 1）檢查水流量是否大于1L/min，水壓是否高于0.15MPa；
???????? 2）水溫是否低于25℃，環(huán)境溫度是否低于40℃；
???????? 3）上述條件如不滿足，建議客戶改善外部環(huán)境，從而保證設備正常運行。
???????? 可能情況2：分子泵水路堵塞
?????????檢測方法及建議2：
???????? 1）正常通水的情況下，將出水管拔出，檢查水流情況，判斷堵塞的嚴重程度；
???????? 2）若屬于一般堵塞（出水量大約為進水量的1/2），建議增大水壓或采用壓縮空氣沖洗水路；
???????? 3）若屬于重度堵塞（出水量不足進水量的1/3）且沖洗無效，建議返廠維修。
???????? 可能情況3：熱繼電器損壞
???????? 檢測方法及建議3：
???????? 1）報警后，停機2～3小時（保持冷卻），用萬用表測量分子泵熱繼電器阻值；
???????? 2）8芯產品測量6、8腳，12芯產品測量5、6腳，若繼電器損壞，屬于開路狀態(tài)；
???????? 3）熱繼電器損壞時，建議返廠維修。
（2）風冷分子泵
???????? 可能情況1：環(huán)境溫度異常
???????? 檢測方法及建議1：
???????? 環(huán)境溫度是否低于35℃，若不滿足，建議用戶改善外部環(huán)境，以保證分子泵正常運行；
???????? 可能情況2：熱繼電器損壞
???????? 檢測方法及建議2：
???????? 1）報警后，停機2～3小時，用萬用表測量熱繼電器器阻值；
???????? 2）8芯產品測量6、8腳，12芯產品測量5、6腳，若繼電器損壞，屬于開路狀態(tài)；
???????? 3）熱繼電器損壞時，建議返廠維修。
???????? 可能情況3：風扇未運轉、導線故障
???????? 檢測方法及建議3：
???????? 1）查看風扇能否正常運轉，并根據(jù)具體情況選擇是否更換風扇；
???????? 2）檢查風扇供電線是否有斷路或許虛接，以保證供電正常。
???????? 可能情況4：控制器風扇插座無電壓輸出
???????? 檢測方法及建議4：
???????? 用萬用表測量風扇插座輸出電壓是否正常，并根據(jù)具體情況進行修復。
???????? 可能情況5：電纜線故障
???????? 檢測方法及建議5：
???????? 測量電纜線導線是否有虛接、斷路等情況，并及時修復，然后即可正常使用。
???????? 可能情況6：控制器損壞
???????? 檢測方法及建議6：
???????? 1）將分子泵端電纜線與泵脫開，短接6、8腳（8芯泵）或5、6腳（12芯泵）；?
???????? 2）閉合控制器電源開關，如果控制器顯示過熱報警，建議返廠維修。

分子泵過載保護分為特征頻率過載和其它頻率過載保護兩張情況，應分別診斷：
（1）特征頻率過載
?????????可能情況：軸承損壞、葉片卡死、碎泵
?????????檢測方式及建議：
?????????1）油潤滑分子泵，潤滑油短時間變黑；換油后短時間再次變黑說明軸承損壞；
?????????2）油潤滑分子泵，轉動供油錐；脂潤滑分子泵轉動葉片，如果可以轉動但手離開后馬上停止或有明顯的遲滯現(xiàn)象，說明軸承損壞；如果不能轉動，說明葉片卡死或碎泵；
?????????3）上述情況，建議返廠維修。
（2）其它頻率過載
???????? 可能情況1：分子泵加速中長期漏氣，電流過大
???????? 檢測方法及建議1：
?????????1）觀察分子泵前級真空度是否優(yōu)于10Pa；
?????????2）用檢漏儀對系統(tǒng)進行整機檢漏，確保系統(tǒng)漏率在允許范圍內；
?????????3）確保系統(tǒng)漏率在允許范圍內且前級優(yōu)于10Pa后重啟分子泵。
?????????可能情況2：前級真空度偏低
???????? 檢測方法及建議2：
?????????測量分子泵前級口真空度，確保優(yōu)于10Pa，并無漏氣后，再次啟動分子泵。
?????????可能情況3：前級閥損壞
???????? 檢測方法及建議3：
?????????取下前級閥進行檢測，如損壞則更換。
???????? 可能情況4：電纜線故障
?????????檢測方法及建議4：
?????????測量電纜線導線本身是否有虛接、斷路等情況，并及時修復，然后正常啟動分子泵。
???????? 可能情況5：控制程序問題
?????????檢測方法及建議5：
?????????查看控制器工作頻率與所使用分子泵是否一致，若不匹配，建議將控制器返廠維修。

可能原因：光闌或鏡筒受污染
（1）物鏡光闌污染需要高溫清洗或更換；
（2）鏡筒污染嚴重，需要清洗；
處理方法：
（1）先調節(jié)物鏡光闌桿更換光闌，調節(jié)消像散至圖像清晰；
（2）如上述方法失效，說明鏡筒污染，需進行維護保養(yǎng)，清洗維護。
補充說明：
????? 通常情況下，電子束斑是圓形的，由于電子光學鏡筒輕微污染或光闌污染，電子束斑呈橢圓形，消像散器用于修正這個橢圓形斑束。